2O3微米線的制備方法,化學(xué)分析"> 2O3微米線的制備方法,本發(fā)明公開(kāi)一種磷摻雜β?Ga2O3微米線的制備方法,將純度大于99.9%的氧化鎵粉末、碳粉和P2O5粉末按質(zhì)量比6:9:1~2配比混合制成反應(yīng)源材料,將反應(yīng)源材料放入剛玉舟內(nèi),再將剛玉舟放入化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)石英管的中心處,襯底位于反應(yīng)源材料上方1~2cm處;通入氬氣,氬氣流量控制在300ml/min;當(dāng)加熱溫度達(dá)到1100℃時(shí)通入氧氣,氧氣流量控制在300ml/min,生長(zhǎng)時(shí)間為20~40分鐘;關(guān)閉氧氣,保持氬氣流量,降溫至室溫,取出樣品。從微米線樣品底部">
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