本發(fā)明涉及一種新型的銻化物及其器件的表面硫鈍化方法。包括鈍化前的表面預(yù)處理與表面硫鈍化方法。本發(fā)明的銻化物表面處理方法克服了常規(guī)表面腐蝕形成的高低不平的粗糙表面與界面形貌,獲得了致密的平整光滑表面和界面形貌,保證后續(xù)腐蝕速率和器件工藝可控;所發(fā)明的銻化物中性硫化氨鈍化技術(shù)比傳統(tǒng)的堿性硫化氨鈍化技術(shù)有更好的鈍化效果,有效地提高了探測器的響應(yīng)度和探測率。所提出的銻化物硫鈍化過程的物理化學(xué)機制有力地闡明了本發(fā)明的依據(jù)并指導(dǎo)了銻化物硫鈍化技術(shù)的發(fā)展。本發(fā)明提供的表面鈍化的方法適用于提高銻化物表面平整度和器件性能。
聲明:
“銻化物及其器件的表面鈍化方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)