一種形成超聲換能器器件的方法包括:在襯底上形成膜堆并將該膜堆圖案化,該膜堆包括金屬電極層和形成在金屬電極層上的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)停止層;在該圖案化的膜堆上形成絕緣層;將該絕緣層平坦化到該CMP停止層;測(cè)量該CMP停止層的剩余厚度;以及在該圖案化的膜堆上形成隔膜支撐層,其中,該隔膜支撐層形成的厚度取決于該CMP停止層的測(cè)得的剩余厚度,使得該CMP停止層和該隔膜支撐層的組合厚度對(duì)應(yīng)于期望的換能器腔體深度。
聲明:
“微加工超聲換能器器件的自適應(yīng)腔體厚度控制” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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