本發(fā)明涉及在聚合物容器(2)的內(nèi)壁上用等離子體輔助化學(xué)氣相沉積法沉積阻擋薄層的設(shè)備(1)及設(shè)備調(diào)節(jié)方法。設(shè)備(1)具有：導(dǎo)電腔體(4)；安裝在腔體(4)中的殼體(5)；在殼體(5)中注入前驅(qū)氣體的裝置(9)；微波發(fā)生器(15)；使微波在殼體(5)中散射的裝置(24)，其連接于發(fā)生器(15)以在前驅(qū)氣體中激勵等離子體并維持等離子體；特征在于：微波發(fā)生器(15)是固態(tài)發(fā)生器，配有微波發(fā)射頻率調(diào)節(jié)器(22)；其具有傳感器(13)，布置成測量表征容器(2)中產(chǎn)生的等離子體的能量強(qiáng)度的物理量；其具有控制單元(14)，連接于傳感器(13)和微波發(fā)生器(15)，控制單元(14)被編程以根據(jù)傳感器(13)測得的表征能量強(qiáng)度的物理量的值、通過頻率調(diào)節(jié)器(22)來調(diào)節(jié)微波發(fā)射頻率。