用于測量含離子流體的流量的流量傳感器可以使用機(jī)械或電學(xué)技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。機(jī)械流量傳感器具有移動部件,并因此在一定時間之后變得不可靠并制造成本高?;魻栃?yīng)型流量傳感器典型地需要可翻轉(zhuǎn)磁場來補(bǔ)償
電化學(xué)效應(yīng)。包括這種傳感器的流量計(jì)使用電磁體。描述了一種流量傳感器(100),該流量傳感器使用電容性傳感器(10)和處理器(12),根據(jù)電容和磁場變化來確定流率。這樣的流量傳感器可以使用CMOS技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。流量傳感器可以在永磁體產(chǎn)生的磁場中操作并且可靠地測量流量。
聲明:
“流量傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)