本發(fā)明公開了一種金屬層膜厚堆疊模型校準的方法及系統(tǒng),該方法基于準確的金屬層化學(xué)機械研磨模型,在模型預(yù)測能力范圍內(nèi),通過改變模型輸入?yún)?shù)預(yù)測不同的DOE晶圓金屬層厚度,輸出所需的監(jiān)控區(qū)域的厚度,并將其用于光譜校準過程,通過本發(fā)明,不僅縮短了校準的時間,而且提高了膜厚堆疊模型的準確性。
聲明:
“金屬層膜厚堆疊模型校準的方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)