本發(fā)明涉及微機(jī)器人技術(shù)在細(xì)胞操作和分離方面的應(yīng)用技術(shù),具體地說是一種基于Parylene C聚合材料、可實現(xiàn)液體環(huán)境中細(xì)胞操作的新型熱驅(qū)動微執(zhí)行器;為固定在硅基底上的多懸臂梁結(jié)構(gòu),每個懸臂梁為parylene C夾持電阻材料的三層結(jié)構(gòu)。其加工工藝采用MEMS平面印刷技術(shù)。本發(fā)明具有可電熱制動效果,parylene C作為熱/電/化學(xué)隔離材料,可使電阻材料構(gòu)成的加熱器不暴露在液體里,因而具有良好的生物適用性和液體環(huán)境適應(yīng)性;可以在控制溫度的方式下實現(xiàn)對細(xì)胞的操作和分離,可為細(xì)胞的定位探測、注射和測量提供自動化操作應(yīng)用。
聲明:
“新型熱驅(qū)動微型執(zhí)行器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)