本發(fā)明涉及一種摻雜鈦酸鍶薄膜型熱電偶,是采用兩組不同摻雜鈦酸鍶薄膜作為熱電偶的熱電極材料,采用磁控濺射、絲網(wǎng)印刷或者化學(xué)旋涂工藝,在高溫陶瓷基片上沉積制備可用于高溫溫度測(cè)量的摻雜鈦酸鍶氧化物薄膜熱電偶。該薄膜熱電偶采用直接貼裝或者涂覆在陶瓷基片表面,可用于高溫氧化氣氛中的溫度測(cè)量,能夠在1200℃-1500℃高溫下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。
聲明:
“摻雜鈦酸鍶薄膜型熱電偶” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)