本發(fā)明公開(kāi)了一種修整頭,包括修整組件和用于承載修整組件的基座組件,所述修整組件可相對(duì)于基座組件旋轉(zhuǎn)并豎直移動(dòng)以修整拋光墊;并且,所述修整頭中設(shè)置有傳感器以監(jiān)測(cè)修整組件相對(duì)于基座組件的豎直位置。本申請(qǐng)?zhí)峁┑男拚^用于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中拋光墊的修整活化,其結(jié)構(gòu)合理,內(nèi)部設(shè)置傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)修整組件相對(duì)于基座組件的豎直位置,實(shí)時(shí)獲取修整組件底面距離拋光墊的距離,以保證良好的修整效果。
聲明:
“修整頭” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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