本實(shí)用新型涉及一種基于濺射薄膜的薄膜應(yīng)變計(jì),有基底、薄膜應(yīng)變計(jì)敏感柵、覆蓋物保護(hù)膜及導(dǎo)引電信號的引出線組成。基底是一層厚度在100μm之內(nèi)的聚酰亞胺薄膜,起到絕緣作用和傳遞應(yīng)變作用;用于感知結(jié)構(gòu)應(yīng)變的敏感柵是一層金屬薄膜鎳鉻合金,通過濺射薄膜制備工藝制成,可大大降低應(yīng)變計(jì)的使用功耗;引出線通過焊接方式焊接在敏感柵的焊接?xùn)盘帲桓采w物保護(hù)膜是一層Si3N4防護(hù)層,可以起到對敏感柵的熱、腐蝕、水、電等外界條件的防護(hù)作用,防止敏感柵過早、過快氧化,防止受到外界環(huán)境的化學(xué)破壞。本實(shí)用新型能夠應(yīng)用于無線應(yīng)變測量,具有功耗低、高分辨率、高可靠性、高測量精度等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“基于濺射薄膜的薄膜應(yīng)變計(jì)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)