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c-取向排列ZnO: Al薄膜的制備方法

1196   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:52
一種c-取向排列ZnO : Al薄膜的制備方法,先驅(qū)體溶液的配制:按 Zn0.99Al0.01O化學(xué)式將硝酸鋅或乙酸鋅與硝酸鋁、乙酸鋁或氯化鋁溶入冰乙 酸中,然后再加入乙二醇和三乙醇胺,向溶液中加入冰乙酸后用鹽酸調(diào)節(jié) 溶液的pH<5得到先驅(qū)體溶液;采用浸涂或旋涂工藝將先驅(qū)體溶液涂敷在 基片上;將涂膜后的基片在650-750℃的高溫爐中退火60min后自然冷卻 得到c-取向排列ZnO : Al薄膜。本發(fā)明應(yīng)用溶膠-凝膠法基片上制備ZnO : Al薄膜,以大于200℃/min的速度快速升溫在650-750℃退火則得到高度 c-取向的長(zhǎng)柱狀顆粒薄膜,柱狀的長(zhǎng)度方向?yàn)榫w的c-軸方向且平行于基 片表面。透光測(cè)試表明后一種薄膜具有大的透光率和透光波長(zhǎng)范圍。
聲明:
“c-取向排列ZnO: Al薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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