本發(fā)明涉及一種空間分辨的光誘導(dǎo)增材制造方法,包括以下步驟:步驟1:首先沉積光和指引光通過(guò)準(zhǔn)直透鏡組;步驟2:通過(guò)二向色鏡后再由聚焦透鏡組射入勻光模組的入射端面;步驟3:通過(guò)勻光模組后的光線(xiàn)再次通過(guò)準(zhǔn)直透鏡組,步驟4:準(zhǔn)直光通過(guò)反射鏡反射至第一分光片,并由第一分光片將一部分分光反射至光掩模板上;步驟5:反射的光將帶有光掩模板上的信息;步驟6:光誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)前驅(qū)體通過(guò)進(jìn)氣口進(jìn)入,在沉積光照射部分,反應(yīng)物發(fā)生熱解反應(yīng)或光解反應(yīng),從而在樣品基底沉積成膜,實(shí)現(xiàn)了信息的轉(zhuǎn)移;步驟7:對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)成像觀(guān)測(cè)。本發(fā)明改變了傳統(tǒng)的空間分辨的增材制造工藝流程,能有效地提高空間分辨的增材制造效率。
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“空間分辨的光誘導(dǎo)增材制造方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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