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藍寶石拋光工藝

740   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:58
本發(fā)明公開了一種藍寶石拋光工藝,包括如下步驟:原料預(yù)處理、精磨、拋光、清洗和測試等,該藍寶石拋光工藝,該藍寶石拋光工藝,通過原料預(yù)處理和精磨工藝將原料表面經(jīng)行研磨,降低拋光時的難度,節(jié)約拋光時間,通過使用由三氧化二鋁制成拋光液硬度高,且在與藍寶石摩擦過程中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)從而使CMP有效進行,穩(wěn)定性高,成本低,通過FA/O復(fù)合活性劑增加拋光液的穩(wěn)定性,提高拋光表面的平整性和工作效率,通過實驗,在壓力為4psi、轉(zhuǎn)速為60rpm/min和pH值為10時,拋去的去除速率為6um/hr,當(dāng)壓力值為5psi、轉(zhuǎn)速為60rpm/min和pH值為10時,拋去的去除速率為8um/hr,本發(fā)明的工藝流程簡單,且同時節(jié)約成本,值得以后推廣。
聲明:
“藍寶石拋光工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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