一種進(jìn)行離子輻照實驗的ECR-PECVD裝置,該裝置包括微波源、通電線圈、進(jìn)氣管、手持式紅外測溫儀、可視窗口、加熱爐、抽真空管道、水冷管、樣品、絕緣陶瓷片。設(shè)備的腔體上端附有通電線圈,為等氣體電離提供磁場;在腔體的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣管,底端設(shè)有抽氣管道,另一側(cè)設(shè)有可視窗口。ECR-PECVD設(shè)備在化學(xué)氣上沉積方面有很大的應(yīng)用,但經(jīng)過改造后在面向等離子體材料的研究方面也能起到至關(guān)重要的作用。其中在樣品上加負(fù)偏壓在150V左右是束達(dá)到2x1020He·m-2·s-1,并能夠在此參數(shù)下穩(wěn)定長時間的工作;此設(shè)備在溫度可控的條件下能夠進(jìn)行各種參數(shù)的調(diào)節(jié),能夠穩(wěn)定的進(jìn)行工作解決了低能高束流設(shè)備短缺的問題。
聲明:
“進(jìn)行離子輻照實驗的ECR-PECVD裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)