本發(fā)明涉及一種氣敏傳感技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種 制備氧化鐵煙敏薄膜的方法。該方法采用金屬有機(jī) 化合物五羰基鐵[Fe(CO)]5作為反應(yīng)源物質(zhì),采用常 壓化學(xué)氣相淀積法進(jìn)行淀積,分別制備出摻雜和非摻 雜氧化鐵煙敏薄膜。該薄膜在煙霧I級的濃度下,靈 敏度可達(dá)52,而在1000ppm的酒精、液化石油氣,甲 烷氣體和氫氣的靈敏度僅為7.4、2.7、2.7和4.0,其靈 敏度高,選擇性好,響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間快等特點(diǎn)均優(yōu)于已 商品化的離子敏感煙探測器和燒結(jié)型氣敏元件,具有 廣泛的應(yīng)用前景。
聲明:
“制備氧化鐵煙敏薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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