本發(fā)明涉及一種基于趨膚效應(yīng)的樣品表面覆膜的無損檢測(cè)方法及系統(tǒng)，包括采用頻率可變的交流信號(hào)作用于待測(cè)樣品的兩端；逐漸增加交流信號(hào)的頻率，檢測(cè)不同頻率的交流信號(hào)對(duì)應(yīng)的待測(cè)樣品兩端的電阻或電壓，并進(jìn)行曲線繪制獲取待測(cè)樣品的電阻-頻率曲線或電壓-頻率曲線；分析待測(cè)樣品的電阻變化量或待測(cè)樣品兩端電壓變化量隨頻率變化的規(guī)律，并計(jì)算或標(biāo)樣對(duì)比得到待測(cè)樣品覆膜的厚度。本發(fā)明的基于趨膚效應(yīng)的樣品表面覆膜的無損檢測(cè)方法及系統(tǒng)，可對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行整體測(cè)量，檢測(cè)靈敏度較高，并且可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量，檢測(cè)效率較高。另外，由于趨膚效應(yīng)，高頻時(shí)材料表面的缺陷對(duì)高頻信號(hào)更敏感，通過改變交流信號(hào)的頻率還可以獲取鍍膜表面缺陷及裂紋深度分布信息。