本發(fā)明公開(kāi)了一種基于反射式太赫茲時(shí)域光譜技術(shù)無(wú)損檢測(cè)熱障涂層厚度的方法。1)確定太赫茲探頭與被測(cè)件的相對(duì)位置及測(cè)量參數(shù)；2)測(cè)量、記錄被測(cè)件太赫茲時(shí)域光譜波形；3)在被測(cè)件表面制備50～400μm厚的熱障涂層；4)根據(jù)第2步的測(cè)量位置及參數(shù)測(cè)量記錄被測(cè)件太赫茲時(shí)域波形；5)計(jì)算制備態(tài)熱障涂層厚度；6)熱障涂層使用減薄后，繼續(xù)采用第2步的測(cè)量位置及參數(shù)測(cè)量、記錄被測(cè)件太赫茲時(shí)域波形，計(jì)算熱障涂層殘余厚度。本發(fā)明克服了傳統(tǒng)測(cè)量方法需破壞工件、檢測(cè)結(jié)果片面、過(guò)程復(fù)雜、檢測(cè)精度低、需要耦合劑等問(wèn)題。本發(fā)明具有檢測(cè)對(duì)象廣泛，簡(jiǎn)便實(shí)用、無(wú)損、非接觸、檢測(cè)精度高的特點(diǎn)，還可以跟蹤熱障涂層使用后厚度減薄情況。