本發(fā)明提供了一種超聲顯微鏡無損檢測性能的綜合校準(zhǔn)試塊,本發(fā)明通過設(shè)計一組特殊構(gòu)形的缺陷試塊來完成對超聲顯微檢測系統(tǒng)綜合性能參數(shù)的校驗,經(jīng)過一次掃查,即可得到超聲顯微鏡綜合參數(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對超聲顯微鏡的綜合參數(shù)檢測,并能夠適用于對多種超聲顯微鏡。試塊上最小的缺陷尺寸為10微米,試塊精度很高。缺陷包括沉孔、條狀凹槽、菱形刻痕、圓形刻痕以及正方形刻痕,試塊為方形且等分為4個部分,分別為第一部分、第二部分、第三部分和第四部分;所述第一部分上表面設(shè)置有沉孔;所述第二部分上表面設(shè)置有條狀凹槽;所述第三部分的上表面設(shè)置刻痕;所述第四部分的上表面設(shè)置有一組不等間距分布的正方形刻痕和兩組尺寸不同的沉孔。
聲明:
“超聲顯微鏡無損檢測性能的綜合校準(zhǔn)試塊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)