本實用新型涉及一種無損檢測物品表面的裝置,其特征在于激光器的光軸上設(shè)置擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡組;在被測物品反射光束的中心軸線上依次設(shè)置剪切元件、帶鏡頭的線陣CCD;剪切元件與帶鏡頭的線陣CCD固定在微位移平臺上,帶鏡頭的線陣CCD采集的圖像信號輸出至計算機(jī),計算機(jī)的控制信號輸出至微位移平臺控制微位移平臺的移動。利用線陣CCD推掃方法,可以根據(jù)待測樣品表面設(shè)計相應(yīng)的微位移平臺的移動軌道,沿所述移動軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現(xiàn)象,從而有效提高了缺陷檢測的靈敏度。
聲明:
“無損檢測物品表面的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)