本發(fā)明公開(kāi)了一種微納光柵表面粗糙度的無(wú)損檢測(cè)方法，包括如下步驟：用去離子水、無(wú)水乙醇和異丙醇對(duì)微納光柵進(jìn)行超聲清洗，氮?dú)獯蹈蓪⑷谆?a href="http://www.189000b.com/news_show-5559.html" target="_blank">硅烷滴到表面皿中，與微納光柵一同置于真空干燥環(huán)境下，使三甲基氯硅烷充分鈍化微納光柵的表面；將固化劑加入聚二甲基硅氧烷中，混合均勻，消泡，得到PDMS混合物；將PDMS混合物倒在表面皿中，再將微納光柵置于PDMS混合物表面，將附著PDMS混合物的微納光柵置于真空干燥環(huán)境中脫氣、固化，得到凝固仍帶有微納光柵的硅膠膜；將該硅膠膜與微納光柵進(jìn)行脫模，用硅膠模進(jìn)行粗糙度測(cè)試。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對(duì)微納光柵表面難以測(cè)量的側(cè)壁、槽底、深孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行采集和復(fù)制，為復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu)表面粗糙度測(cè)試提供了新思路。