本發(fā)明公開了一種對(duì)微納光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)深度進(jìn)行無損檢測(cè)的裝置及方法,包括測(cè)試箱體和用于封蓋該測(cè)試箱體的箱蓋,在所述測(cè)試箱體內(nèi)設(shè)置光源、單色器、分光器、被測(cè)微納光學(xué)元件、積分球、反射鏡和光電倍增管,在測(cè)試箱體外設(shè)置的計(jì)算機(jī)與光電倍增管的輸出端連接。本發(fā)明的方法根據(jù)Fraunhofer衍射強(qiáng)度分布公式和衍射光柵公式,得到0級(jí)衍射峰值強(qiáng)度I0peak與微納光學(xué)元件透過率T的關(guān)系透過率T和結(jié)構(gòu)深度h的關(guān)系T=80?0.07h,將測(cè)得的透過率值帶入式中,計(jì)算得到微納光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)深度h。該通過透過率計(jì)算出結(jié)構(gòu)特征尺寸,具有測(cè)試效率高及不損傷樣品的特點(diǎn)。
聲明:
“對(duì)微納光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)深度進(jìn)行無損檢測(cè)的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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