本發(fā)明公開(kāi)了一種基于光學(xué)相干成像的鏡頭可靠性前后無(wú)損檢測(cè)方法與裝置。利用光學(xué)相干層析掃描裝置對(duì)可靠性測(cè)試前后的鏡頭進(jìn)行掃描,獲取可靠性測(cè)試前后鏡頭的三維散射信號(hào)。根據(jù)三維散射信號(hào)的強(qiáng)度信息,識(shí)別鏡頭各鏡片的前后表面,計(jì)算出可靠性測(cè)試前后鏡頭的三維結(jié)構(gòu)變化(微米量級(jí))。根據(jù)可靠性測(cè)試前后鏡片位置處的相位變化,計(jì)算出可靠性測(cè)試前后鏡頭的三維結(jié)構(gòu)變化(納米量級(jí))。本發(fā)明具有無(wú)接觸、高精度、實(shí)時(shí)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),可以在短時(shí)間內(nèi)測(cè)量出鏡頭內(nèi)鏡片相對(duì)位置的納米精度的變化。
聲明:
“基于光學(xué)相干成像的鏡頭可靠性前后無(wú)損檢測(cè)方法與裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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