本發(fā)明涉及干涉激光超聲無損檢測系統(tǒng),包括:激光激勵組件用以向工件發(fā)射脈沖激光;聚焦鏡布置在第二激光器的出光口處;第一點陣金屬膜半透半反鏡傾斜布置,且金屬膜面朝向聚焦鏡的出光側(cè);第二點陣金屬膜半透半反鏡傾斜布置,且背離金屬膜面的一面朝向第一點陣金屬膜半透半反鏡的金屬膜面;光電探測器其布置在第二點陣金屬膜半透半反鏡的金屬膜面?zhèn)?;信號處理器與光電探測器電連接。不再使用分光鏡,而是采用兩塊點陣金屬膜半透半反鏡,解決了傳統(tǒng)分光鏡造成的回光損失以及損傷激光器和自身引入雜光帶來的影響,可實現(xiàn)多角度反射和透射,采用分光路干涉,光路沒有干擾;器件少易于實現(xiàn)小型化;實現(xiàn)穩(wěn)定、便攜、高精度要求。
聲明:
“干涉激光超聲無損檢測方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)