本發(fā)明提供一種無損測(cè)量薄膜的探針及測(cè)量?jī)x器,包含導(dǎo)電針體、導(dǎo)電彈性針頭、固定環(huán)、感應(yīng)收縮簧。感應(yīng)收縮簧的感應(yīng)端超出導(dǎo)電彈性針頭一定距離,能夠監(jiān)測(cè)到與納米級(jí)厚度薄膜的接觸和接觸后的應(yīng)力大小,能夠精準(zhǔn)地控制再次推進(jìn)時(shí)間,使探針恰好接觸薄膜而不損壞薄膜。該探針及測(cè)量?jī)x適合對(duì)半導(dǎo)體薄膜進(jìn)行接觸式無損、穩(wěn)定、可重復(fù)的準(zhǔn)確檢測(cè),同時(shí)也適合推廣到其它薄膜材料的電學(xué)檢測(cè)。
聲明:
“無損測(cè)量薄膜的探針和測(cè)量?jī)x器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)