本實用新型提供了一種缺陷檢測設(shè)備,通過激光發(fā)射裝置發(fā)出探測光,并使探測光輻照到待測樣品上,形成信號光,然后通過分光裝置將信號光中包含的散射光和熒光進(jìn)行分離,使得熒光入射到第一探測裝置成像,散射光入射到第二探測裝置成像,得到熒光圖像信息以及散射光圖像信息,以便進(jìn)一步分析采集到的熒光圖像信息和散射光圖像信息,得到待測樣品的表面缺陷信息以及亞表面缺陷信息。通過本實用新型提供的缺陷檢測設(shè)備有利于實現(xiàn)對待測樣品的亞表面缺陷的無損檢測,而且能夠同時實現(xiàn)對待測樣品的表面缺陷的無損檢測,有利于節(jié)約缺陷檢測的測試時間,提高測試效率。
聲明:
“缺陷檢測設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)