本發(fā)明提供了一種缺陷檢測設(shè)備及方法,通過激光發(fā)射裝置發(fā)出探測光,并使探測光輻照到待測樣品上,形成信號(hào)光,然后通過分光裝置將信號(hào)光中包含的散射光和熒光進(jìn)行分離,使得熒光入射到第一探測裝置成像,散射光入射到第二探測裝置成像,進(jìn)而通過控制裝置處理第一探測裝置采集到的熒光圖像信息以及第二探測裝置采集到的散射光圖像信息,得到待測樣品的表面缺陷信息以及亞表面缺陷信息。通過本發(fā)明提供的技術(shù)方案能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)待測樣品的亞表面缺陷的無損檢測,而且能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)待測樣品的表面缺陷的無損檢測,有利于節(jié)約缺陷檢測的測試時(shí)間,提高測試效率。
聲明:
“缺陷檢測設(shè)備及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)