本發(fā)明屬于壓電驅(qū)動器缺陷檢測技術(shù),涉及一種激光陀螺用壓電驅(qū)動器的缺陷檢測方法。本發(fā)明屬于膜片式壓電驅(qū)動器檢測方法,通過測試膜片式壓電驅(qū)動器的幅頻特性曲線,即通過壓電元件內(nèi)部缺陷、壓電陶瓷片與連接基體的連接的缺陷對壓電元件的振動模式的影響,從而定性檢測壓電片的內(nèi)部缺陷、壓電陶瓷片與連接基體的連續(xù)性缺陷檢測。依靠本方法,可實(shí)現(xiàn)檢測壓電元件的內(nèi)部缺陷和壓電驅(qū)動器連接層的連續(xù)性缺陷檢測,且操作簡單,易行,實(shí)現(xiàn)了無損檢測。相對傳統(tǒng)檢測方式,可直接檢測產(chǎn)品缺陷和連接層缺陷,有檢測效率高、檢測精度高、檢測成本低的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“膜片式壓電驅(qū)動器缺陷檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)