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原子力聲學顯微鏡懸臂梁接觸諧振頻率檢測系統(tǒng)

740 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:18

原子力聲學顯微鏡懸臂梁接觸諧振頻率檢測系統(tǒng)主要用于檢測原子力顯微鏡懸臂梁的接觸諧振頻率,進而實現(xiàn)原子力聲學顯微鏡的彈性模量成像,屬于無損檢測領域。本實用新型基于原子力顯微鏡懸臂諧振曲線峰值對應的電壓信號,控制壓控振蕩器輸出諧振中心頻率的正弦電壓信號激勵壓電傳感器的原理。主要包括與原子力聲學顯微鏡懸臂梁的光電二極管探測器連接的鎖相放大器、與原子力聲學顯微鏡的壓電傳感器連接的壓控振蕩器(VCO),以及處理頻率信號的DSP控制板。DSP控制板控制VCO輸出諧振中心頻率的正弦電壓信號激勵壓電傳感器,得到諧振曲線,進而得到諧振曲線的中心頻率,實現(xiàn)了一種自動頻率檢測系統(tǒng)。

聲明：

“原子力聲學顯微鏡懸臂梁接觸諧振頻率檢測系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)