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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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鏡頭內部形變的弱相干光學檢測方法與系統(tǒng)

755 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:58:19

本發(fā)明公開了一種鏡頭內部形變的弱相干光學檢測方法與系統(tǒng)。利用OCT分別采集鏡頭形變前后各鏡片表面的干涉光譜；提取獲得深度域復數(shù)信號；基于深度域強度信號，對各個鏡片表面進行微米精度的表面定位，獲得每個鏡片表面的像素位置及亞像素位置；基于深度域相位信號，檢測納米精度的鏡頭內部形變；基于深度域復數(shù)信號分析每個鏡片表面的光譜域相位，以補償深度域相位的包裹量，擴展量程至微米量級。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)方法中量程和精度不能同時兼顧的問題，實現(xiàn)了鏡頭內部形變的大量程、高精度無損檢測，對偽像問題做了優(yōu)化，提升了各鏡片表面定位的穩(wěn)定性。

聲明：

“鏡頭內部形變的弱相干光學檢測方法與系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)