本發(fā)明涉及一種超聲掃描顯微鏡檢測金屬材料內(nèi)部夾雜物的方法,該方法具體步驟如下:首先,根據(jù)被檢材料的厚度和檢測精度要求進行超聲換能器的參數(shù)選型;然后,對樣品進行逐層粗掃成像獲得夾雜物在材料內(nèi)部的整體分布信息和三維形貌;調(diào)整換能器的軸向位置,使其準(zhǔn)確聚焦于目標(biāo)掃查層,進行精細C掃成像獲得目標(biāo)掃查層處夾雜物的平面分布信息;最后,由A掃時域波形獲得夾雜物的深度信息,從而確定目標(biāo)掃查層處夾雜物在材料內(nèi)部的空間位置坐標(biāo)。采用上述技術(shù)方案,本發(fā)明可實現(xiàn)材料內(nèi)部夾雜物的無損檢測,利用計算得到的水聲程可較準(zhǔn)確的調(diào)整換能器豎直高度,實現(xiàn)較高效率及精度的聚焦掃查,進而獲得夾雜物在材料內(nèi)部的準(zhǔn)確空間位置。
聲明:
“超聲掃描顯微鏡檢測金屬材料內(nèi)部夾雜物的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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