透鏡面形偏差檢測裝置,涉及小型球面干涉儀。分光器正下方設(shè)置的擴束整形裝置、檢測光源、分光器正右方的光學(xué)樣板、正左方的觀察接收屏、分光器正上方的定位圈口、待測透鏡組成,定位圈口管狀體上端面固定有三個鋼球,擴束整形裝置的光束的中心軸線與光學(xué)樣板的光軸相交于分光器的接和面上,觀察接收屏垂直于光學(xué)樣板的光軸。優(yōu)點在于:先給定位圈口定位再作檢測,光學(xué)樣板代替價格昂貴的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭產(chǎn)生干涉的參考波前,實現(xiàn)對透鏡球面曲率半徑的測量,不能長導(dǎo)軌快速無損非接觸在線檢測。定位圈口的鋼球使透鏡基準(zhǔn)面或待測面處于同一個三角形的幾何中心垂線上,定位后,待測透鏡時不用進行再調(diào)節(jié)就可以得到干涉條紋,提高了檢測效率。
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