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SOI晶圓質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)

660 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:20

本發(fā)明提供了一種SOI晶圓質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)，檢測方法包括如下步驟：提供SOI晶圓，SOI晶圓包括襯底層、埋氧層和半導體層；放置第一壓力探針和第二壓力探針；將第一壓力探針接地，對第二壓力探針施加恒定的第一電壓，對襯底層施加變化的第二電壓；根據(jù)不同第二電壓及所對應的第一電流數(shù)據(jù)提取測試表面遷移率，并與理論表面遷移率進行比對，以評估SOI晶圓的質(zhì)量。本發(fā)明針對SOI晶圓質(zhì)量的快速評估需求，通過對測試結(jié)構(gòu)進行電流電壓測試，提取表面遷移率，與理論值進行比對，揭示了能夠表征SOI晶圓質(zhì)量的電學特性，實現(xiàn)了對SOI晶圓質(zhì)量的無損評估，對于太陽能電池SOI晶圓的工藝開發(fā)具有重要意義。

聲明：

“SOI晶圓質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)