本發(fā)明公開了一種光學(xué)表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測(cè)方法及裝置,通過高度聚焦的泵浦激光照射樣品來激發(fā)樣品的紅外輻射,同時(shí)利用泵浦激光所激發(fā)的紅外輻射在特定波段對(duì)一些固體材料有一定穿透深度的物理特性來獲得固體材料表面及亞表面對(duì)泵浦激光的光學(xué)吸收特性。通過掃描樣品,該方法和裝置可以在樣品表面和亞表面區(qū)域內(nèi)獲得微米到亞微米量級(jí)的橫向分辨率,適用于光熱無損探傷、光熱精密檢測(cè)、光熱顯微成像與缺陷分析、特別是用于強(qiáng)激光系統(tǒng)內(nèi)的光學(xué)元件缺陷檢測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域。
聲明:
“光學(xué)表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測(cè)方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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