本申請?zhí)峁┮环N激光加工檢測裝置及方法、激光加工設(shè)備及調(diào)焦控制方法,涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域,能夠在對被加工件進(jìn)行無損的精密加工時(shí),對被加工件加工表面進(jìn)行瞬態(tài)過程的高時(shí)間分辨能力的檢測成像。包括第一激光束,通過第一偏振旋轉(zhuǎn)器的激光束經(jīng)第一合光鏡透射后用于射向被加工件進(jìn)行激光加工。第二超短脈寬激光束和第三超短脈寬激光束分別經(jīng)衍射光柵后通過第二合光鏡合束,并通過第二偏振旋轉(zhuǎn)器后在第一合光鏡與第一激光束合束入射被加工件,被加工件反射的合束激光束經(jīng)過第一合光鏡分離第一激光束后經(jīng)第二偏振旋轉(zhuǎn)器再由第二合光鏡分束為第二超短脈寬激光束和第三超短脈寬激光束,分別入射接收器和經(jīng)衍射光柵后入射接收器。
聲明:
“激光加工檢測裝置及方法、激光加工設(shè)備及調(diào)焦控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)