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鏡頭中光學(xué)表面中心間距的非接觸式測量方法及測量裝置

965   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:23
本發(fā)明涉及一種鏡頭中光學(xué)表面中心間距的非接觸式測量方法及測量裝置,本發(fā)明將寬帶光源出射的光通過干涉結(jié)構(gòu)產(chǎn)生干涉信號,對干涉信號進行采樣、圖像重構(gòu)即可得到鏡頭中光學(xué)表面的二維層析圖像,在樣品臂中使用細(xì)平行光束作為掃描光束,通過移動光纖準(zhǔn)直器來改變相干層析成像的起始位置,進而得到鏡頭中不同深度各個光學(xué)表面的特征圖像,最后根據(jù)光學(xué)表面在其特征圖像中的位置和成像起始位置的移動距離得到兩光學(xué)表面中心的距離。本發(fā)明具有非接觸無損測量、測量精度高、數(shù)據(jù)處理簡單的優(yōu)點,可靈活應(yīng)用于光學(xué)加工、光學(xué)裝校及光學(xué)檢測等領(lǐng)域。
聲明:
“鏡頭中光學(xué)表面中心間距的非接觸式測量方法及測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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