本發(fā)明為一種基于波長(zhǎng)可調(diào)諧光場(chǎng)測(cè)量技術(shù)的三維形貌測(cè)量方法及裝置，屬于光學(xué)精密檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。測(cè)量裝置由可調(diào)諧激光器、第一分光裝置、反射鏡、第一擴(kuò)束系統(tǒng)、第二擴(kuò)束系統(tǒng)、第二分光裝置、相機(jī)組成；測(cè)量方法為使用測(cè)量激光照射在被測(cè)樣品表面形成對(duì)應(yīng)的干涉圖，通過(guò)光場(chǎng)解算技術(shù)解算被測(cè)樣品表面的相位分布，通過(guò)激光調(diào)諧技術(shù)產(chǎn)生多個(gè)測(cè)量光束實(shí)現(xiàn)量程拓展，最終完成物體表面三維形貌測(cè)量。本發(fā)明具有對(duì)被測(cè)表面粗糙度的適應(yīng)范圍寬、量程適配性強(qiáng)、非接觸、高精度等特點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)待測(cè)件的無(wú)損檢測(cè)，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、航空航天等高精密檢測(cè)領(lǐng)域。