本發(fā)明屬于顯微光譜成像探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種反射式共焦CARS顯微光譜測(cè)試方法及裝置。本發(fā)明的核心思想是融合激光共焦顯微技術(shù)與CARS光譜探測(cè)技術(shù)，采用二向分光系統(tǒng)對(duì)瑞利光和CARS光進(jìn)行無(wú)損分離，其中CARS光進(jìn)行光譜探測(cè)，瑞利光進(jìn)行幾何定位。本發(fā)明利用共焦曲線頂點(diǎn)與焦點(diǎn)位置精確對(duì)應(yīng)這一特性，精確捕獲和定位激發(fā)光斑焦點(diǎn)位置，實(shí)現(xiàn)高精度的幾何探測(cè)和高空間分辨的光譜探測(cè)，構(gòu)成一種可實(shí)現(xiàn)樣品微區(qū)高空間分辨光譜探測(cè)的方法和裝置。通過(guò)結(jié)合CARS顯微技術(shù)，激發(fā)出的載有樣品信息的拉曼散射光要遠(yuǎn)強(qiáng)于傳統(tǒng)自發(fā)拉曼光，且激發(fā)時(shí)間短，為快速檢測(cè)生物樣品和化學(xué)材料提供可能。本發(fā)明具有定位準(zhǔn)確、高空間分辨、光譜探測(cè)靈敏度高和測(cè)量聚焦光斑尺寸可控等優(yōu)點(diǎn)，在生物醫(yī)學(xué)，材料檢測(cè)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。