本發(fā)明公開了一種基于針孔式點(diǎn)衍射干涉儀的球面鏡曲率半徑測量裝置及方法。本發(fā)明通過在針孔式點(diǎn)衍射干涉儀裝置中,先后于干涉腔中插入兩塊不同厚度的平行平板,來實(shí)現(xiàn)兩次定量的離焦。當(dāng)測試光路中不放置平行平板時,通過移相測量得到波面數(shù)據(jù)W0,分別放置兩個不同厚度的平行平板在測試光路中,通過移相測量得出兩個不同的波面W1和波面W2,通過W1和W0的離焦系數(shù)之差、W2和W0的離焦系數(shù)之差和高斯成像公式,推導(dǎo)出球面反射鏡曲率半徑的計(jì)算公式。本發(fā)明采用非接觸式的測量方法避免了對球面鏡表面的損壞,為大數(shù)值孔徑球面鏡曲率半徑的無損傷測量提供了可行的方法,同時適用于大數(shù)值孔徑球面鏡的面形檢測。
聲明:
“基于針孔式點(diǎn)衍射干涉儀球面鏡曲率半徑測量裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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