本發(fā)明提供了一種離軸非球面鏡光軸與安裝面夾角的光學(xué)測量系統(tǒng)及方法,包括干涉儀、平行平晶、補(bǔ)償器和離軸非球面組件;干涉儀提供光源并檢測非球面面形誤差;干涉儀發(fā)射的光束依次透過平行平晶、補(bǔ)償器到達(dá)離軸非球面組件進(jìn)行反射,所述離軸非球面組件反射出的光線依次透過補(bǔ)償器、平行平晶進(jìn)入干涉儀內(nèi)部的探測器,進(jìn)入所述干涉儀內(nèi)部的光線與干涉儀內(nèi)部的參考光進(jìn)行干涉,形成干涉條紋,并計算得出非球面面形誤差。本發(fā)明可以快速、無損且精確的測量和計算出離軸非球面鏡光軸與支撐結(jié)構(gòu)安裝面之間的夾角。本發(fā)明利用目前的精密儀器設(shè)備和光學(xué)元件,對光學(xué)鏡面無損傷、檢測精度高、耗時短,是一種快速高精度無損檢測技術(shù)。
聲明:
“離軸非球面鏡光軸與安裝面夾角的光學(xué)測量系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)