本發(fā)明公開(kāi)了一種用于物質(zhì)的太赫茲精細(xì)譜探測(cè)儀，采用室溫相干太赫茲源和檢測(cè)方法，包括發(fā)射支路和接收支路，發(fā)射支路和接收支路均設(shè)計(jì)有太赫茲倍頻鏈陣列，通過(guò)太赫茲倍頻鏈陣列來(lái)產(chǎn)生連續(xù)太赫茲波；太赫茲倍頻鏈陣列根據(jù)實(shí)際測(cè)量需求設(shè)計(jì)有具體的分段數(shù)，利用這種太赫茲倍頻鏈陣列可以實(shí)現(xiàn)0.1?1.5?THz范圍全覆蓋；因此本發(fā)明，可以測(cè)量物質(zhì)的太赫茲精細(xì)譜，譜分辨率可達(dá)百KHz，比THz?TDS系統(tǒng)提升三個(gè)量級(jí)；本發(fā)明采用全固態(tài)方式實(shí)現(xiàn)，易于集成，可靠性高；進(jìn)一步的，采用自由空間法測(cè)量物質(zhì)的透射譜，具有校準(zhǔn)方便、對(duì)待測(cè)樣品無(wú)損傷的優(yōu)點(diǎn)。