本實(shí)用新型公開了屬于光電無損檢測和精密機(jī)械領(lǐng)域的一體化雙視場實(shí)時(shí)薄膜微變形測量裝置及方法。檢測裝置的激光器、光分束器、擴(kuò)束鏡、成像透鏡、固體攝像機(jī)及全反鏡等組成面內(nèi)、離面ESPI檢測單元按光路連接分別安置在一光學(xué)隔振平臺(tái)上;單軸拉伸與彎曲微力加載單元MFU置于雙視場光路中。本方法是按薄膜單軸變形與軸向拉伸微力測量同時(shí)進(jìn)行,利用面內(nèi)ESPI干涉單元和離面ESPI干涉單元分別對(duì)被測膜表面和測力彈性梁彎曲面的散斑圖進(jìn)行記錄和處理,按通用計(jì)算方法計(jì)算出被測膜的各種力學(xué)參數(shù)。適用微米到亞微米厚度薄膜力學(xué)性能檢測與分析。
聲明:
“一體化雙視場實(shí)時(shí)薄膜微變形測量儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)