本實(shí)用新型公開(kāi)一種二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測(cè)試裝置。該裝置包括具有步進(jìn)掃描功能的傅立葉變換紅外光譜儀、作為激發(fā)光源的泵浦光系統(tǒng)、用于精確定位的五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位控制平臺(tái)及平行校正系統(tǒng)、聯(lián)接傅立葉變換紅外光譜儀中探測(cè)器和電路控制板的鎖相放大器和泵浦激光源之間光路上的斬波器。本專(zhuān)利還基于上述設(shè)備,提出實(shí)現(xiàn)波段覆蓋4-20μm寬波段的二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光光譜測(cè)試方法。本專(zhuān)利是一種檢測(cè)窄
半導(dǎo)體材料光學(xué)性質(zhì)和能帶結(jié)構(gòu)空間均勻度的光譜學(xué)測(cè)試裝置和方法,具有無(wú)損高靈敏優(yōu)點(diǎn),非常適合于大面積紅外探測(cè)器面陣材料的平面空間均勻性檢測(cè)。
聲明:
“二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測(cè)試裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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