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用于熱絲化學(xué)氣相沉積襯底表面溫度測量的裝置

824   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:31
本發(fā)明公開了一種用于熱絲化學(xué)氣相沉積襯底表面溫度測量的裝置,包括氣相沉積系統(tǒng)和用于檢測襯底溫度的測溫裝置,所述的氣相沉積系統(tǒng)包括密閉腔室,在密閉腔室的內(nèi)部設(shè)有基片臺,基片臺端面用于放置襯底,基片臺的底部固定用于驅(qū)動基片臺運動的旋轉(zhuǎn)軸,旋轉(zhuǎn)軸的另一端從密閉腔室的底部伸出;所述的測溫裝置為紅外測溫儀,在密閉腔室的側(cè)壁設(shè)有測量通道,測量通道的端部設(shè)有觀察窗,所述紅外測溫儀的探頭與所述觀察窗對正。該裝置可用于熱絲化學(xué)氣相沉積過程中,襯底表面溫度的測定。通過采用紅外測溫的技術(shù),實時無損的監(jiān)測該溫度在反應(yīng)過程中的變化情況。該技術(shù)屬于非接觸式測量技術(shù),不會對反應(yīng)過程中基片臺的其它行為(如旋轉(zhuǎn)、升降等)產(chǎn)生影響。
聲明:
“用于熱絲化學(xué)氣相沉積襯底表面溫度測量的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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