一種同步輻射用單色器熱畸變在線探測裝置,其特征在于它的結(jié)構(gòu)是:在激光光源輸出光束的前進方向依次設(shè)擴束望遠(yuǎn)鏡和第一分束器,該第一分束器的透射光束A與待測的硅單晶單色器成一夾角,其反射光束經(jīng)第二全反射鏡反射而入射到第二分束器再反射進入探測器,該第一分束器的反射光束B經(jīng)第一反射鏡的反射入射到第二分束器,其透射光束B與光束A疊加形成干涉光束,探測器的記錄界面垂直于該干涉光束,探測器的信號線接計算機。本發(fā)明具有高分辨、無損傷、無接觸、在線檢測的優(yōu)點,分辨能力達(dá)到λ/20。
聲明:
“同步輻射用單色器熱畸變在線探測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)