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激光干涉法薄膜厚度變化量在線監(jiān)測方法和裝置

833 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:58:32

本發(fā)明公開了一種激光干涉法薄膜厚度變化量在線監(jiān)測方法和裝置，該方法是：激光聚焦到被測薄膜上，在薄膜的上下表面產(chǎn)生的兩束反射光發(fā)生干涉；干涉光被探測，然后形成可視的周期性變化的“電壓-時間”曲線；結合周期數(shù)和所花時間可得薄膜厚度的變化量。該裝置包括：連續(xù)型激光二極管、發(fā)光二極管、二向色鏡、50:50分光片、消色差透鏡、紅外物鏡、第三分光片、成像元件、可見光截止濾光片、光電二極管。通過紅外物鏡配合發(fā)光二極管提供照明可將待測樣品表面可見光形貌和測量用的紅外激光光斑同時成像于成像元件上，起到實時對樣品表面特定點的測量。本發(fā)明具有精度高、成本低、實時無損、光路穩(wěn)定、系統(tǒng)維護方便等優(yōu)點。

聲明：

“激光干涉法薄膜厚度變化量在線監(jiān)測方法和裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)