本發(fā)明提供的一種測量介質(zhì)導(dǎo)體沉積界面微波表面電阻的裝置及方法,屬于電子學(xué)領(lǐng)域,裝置包括測試座、校準(zhǔn)組件、密封腔和支撐板,測試座包括底端面開放的屏蔽腔、介質(zhì)柱、輸入耦合結(jié)構(gòu)、輸出耦合結(jié)構(gòu)和介質(zhì)支撐裝置,待測介質(zhì)導(dǎo)體樣品與測試座構(gòu)成TE011模式的介質(zhì)諧振器;分別將校準(zhǔn)組件和待測導(dǎo)體樣品裝配在測試座上,測得對應(yīng)品質(zhì)因數(shù),進(jìn)而計算得到待測介質(zhì)導(dǎo)體樣品的沉積界面微波表面電阻。本發(fā)明僅進(jìn)行一次無損測量即可獲得介質(zhì)導(dǎo)體沉積界面的微波表面電阻,解決因?qū)w層趨膚深度限制而導(dǎo)致無法準(zhǔn)確測試介質(zhì)導(dǎo)體沉積界面微波表面電阻的問題,同時具有較高的測試效率,尤其適合大批量工業(yè)化的測試。
聲明:
“測量介質(zhì)導(dǎo)體沉積界面微波表面電阻的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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