本發(fā)明涉及用于原位測(cè)量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法及裝置。提供了一種MEMS微梁材料楊氏模量原位測(cè)量方法,該方法包括:獲取MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù);獲取MEMS微梁的吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù);根據(jù)MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)、吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù),確定MEMS微梁的厚度;根據(jù)結(jié)構(gòu)參數(shù)、振型函數(shù)、厚度和吸合電壓或者根據(jù)結(jié)構(gòu)參數(shù)、振型函數(shù)、厚度和和固有頻率,確定MEMS微梁的楊氏模量。其中,結(jié)構(gòu)參數(shù)包括MEMS微梁的長(zhǎng)度、寬度和高度,高度為MEMS微梁的上表面與位于MEMS微梁下方的底部電極的上表面之間的距離。通過采用上述測(cè)量方法,能夠在MEMS微梁厚度未知的情況下測(cè)量微梁材料的楊氏模量,實(shí)現(xiàn)楊氏模量的無損原位測(cè)量。
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“用于原位測(cè)量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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