本發(fā)明提供了一種環(huán)柵器件制備的測試方法與系統(tǒng)，其中，將拉曼測試裝置引入到環(huán)柵器件制備的工藝環(huán)節(jié)，進(jìn)而，能夠在生長外延層后、刻蝕鰭片后、源漏外延(且偽柵極被去除)、釋放犧牲層后、HKMG包裹溝道后、后等至少之一時(shí)間點(diǎn)對溝道對應(yīng)位置的應(yīng)力進(jìn)行測試，在此基礎(chǔ)上，測試結(jié)果可反應(yīng)出溝道對應(yīng)位置應(yīng)力隨制備工藝環(huán)節(jié)的變化。其中，由于拉曼測試裝置的測試光的光斑面積較小，進(jìn)而，可在測試中表征出較小尺寸的結(jié)構(gòu)應(yīng)力，同時(shí)，該過程中，也不會對樣品表面產(chǎn)生損傷。可見，本發(fā)明能夠在無損的情況下準(zhǔn)確對各工藝環(huán)節(jié)下溝道對應(yīng)位置的應(yīng)力進(jìn)行測試與表征，為制備工藝的進(jìn)一步分析與改進(jìn)提供準(zhǔn)確、充分的依據(jù)。