本發(fā)明公開一種晶圓銅膜厚度離線測量模塊控制系統(tǒng)，采用上層控制系統(tǒng)和底層控制系統(tǒng)的兩級控制模式，上層控制系統(tǒng)和底層控制系統(tǒng)之間通過工業(yè)以太網(wǎng)實現(xiàn)物理連接，其中，底層控制系統(tǒng)中，采用可編程控制器PLC負責直接控制離線測量模塊的各個部分；上層控制系統(tǒng)中，采用工控機IPC通過PLC實時監(jiān)控離線測量模塊的狀態(tài)，并為工藝人員提供操作軟件，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的管理。根據(jù)工藝需求，設置XY模式和全局模式兩種主要測量模式。工藝流程分為標定和測量。上層控制系統(tǒng)軟件利用Matlab實現(xiàn)繪圖子程序，方便主程序靈活調用。本發(fā)明具有無損測試、操作簡單、便于維護以及安全可靠的優(yōu)點。
聲明：
“晶圓銅膜厚度離線測量模塊控制系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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編輯：管理員
來源：中冶有色技術網(wǎng)
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2025年03月21日 ~ 23日 
