本發(fā)明公開(kāi)了一種微束微區(qū)X射線探針?lè)治鰞x,采用了X光管與聚焦毛細(xì)管的方式產(chǎn)生X射線對(duì)待檢測(cè)樣品微區(qū)進(jìn)行特征X射線激發(fā),所述分析儀主要包括:電子微動(dòng)測(cè)量平臺(tái),用于對(duì)樣品微區(qū)進(jìn)行定位,獲取樣品微區(qū)的圖像信息,XRF能譜儀實(shí)現(xiàn)樣品的X射線檢測(cè),并將能譜曲線發(fā)送到PC機(jī);PC上位機(jī)軟件系統(tǒng),通過(guò)相應(yīng)的控制設(shè)備的控制實(shí)現(xiàn)譜線的分析,并獲取分析后的結(jié)果。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了樣品的無(wú)損檢測(cè),且檢測(cè)時(shí)無(wú)須對(duì)樣品進(jìn)行表面導(dǎo)電處理,同時(shí)采用了激光定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的自動(dòng)定位,方便了用戶(hù)的操作并節(jié)約了操作所需的時(shí)間。
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“微束微區(qū)X射線探針?lè)治鰞x” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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